ATV真空回流爐的基本結構

日期：2026-04-16 23:15

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摘要：

　　ATV真空回流爐包括以下幾個結構：氣路系統、冷卻系統、加熱系統，真空系統、測量系統和**系統：

氣路系統

　　N2有三路：一路通到工藝腔體；一路作為氣冷通入冷卻管（和水冷一個管道）；一路通到真空泵gas ballast，作為提高真空泵壓縮比的功能。 H2有一路，通到腔體內。H2/N2一路，通道腔體內。

冷卻系統

　　分為內循環和外循環內循環：設備內部有個水箱，內裝有DI water，通過水泵將水箱里面水進行循環，用來冷卻加熱板、法蘭、plasma。外循環：客戶提供外部冷卻水用來冷卻水箱。

加熱系統

　　ATV真空回流爐包括主加熱和邊緣加熱。

　　主加熱也就是整個加熱板。占加熱的95%。

　　邊緣加熱是在熱板的四周追加邊緣加熱絲，為了更好的提高熱板的均勻性，增大工藝有效面積。