德國ATV 快速熱處理爐
德國ATV PEO系列多功能快速熱處理系統，主要用于晶圓的擴散、氧化，以及CVD,PVD,LPCVD,MOCVD，合金化，退火，固化/烘烤等工藝，*高處理溫度1100℃，可滿足研發、批量生產的需求。
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德國ATV 快速熱處理爐

發布時間 : 2026-04-24 17:19

概述
PEO604是一款既節能又節省占地空間的快速處理爐，它也是一款采用鉻鋁鈷耐熱鋼線加熱的熱壁爐。PEO6xx系列是用于研發、工藝獨特而復雜的產品開發、中低產量的生產。
應用范圍
LPCVD, CVD, 晶體外延附生, 多晶硅, 氮化硅, LTO, TEOS,
固體/液體/氣體前體擴散, low k, HSQ, HMDS,
干法/濕法氧化, 高溫氧化, VECSEL,
MOCVD, Trans LC, 硅納米線, 植入后退火,
納米碳管, 石墨烯, 太陽能, batch ALD,
聚酰亞胺/BCB 固化, 晶圓焊球回流, 合金化處理, thick
film paste firing, LTCC 燒結, annealing under inert
大氣/氫氣/ 高真空, 碲/硒/汞 PVD
產品特性
? 在室溫下無能源及氣體損耗 – ramp up –
processing – 降溫控制
? *高溫度：1100°C, 極限真空 ~ 7 x 10-7 mbar
? *大可支持100片晶圓

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